Praxisseminar Mikrosensorherstellung

Einführung in Basistechnologien zur Herstellung von Mikrosensoren mit praktischen Arbeiten im Reinraum

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Inhalt und Zielsetzung:

Mikrosensoren sind eine wesentliche Basis der aktuellen Entwicklungen in den Bereichen Automobil und Zulieferer, Maschinenbau, Kommunikations- und Nachrichtentechnik sowie Bio- / Medizintechnik. Erst der massive Einsatz miniaturisierter Sensoren hat die technischen Lösungen ermöglicht und neue Anwendungsfelder eröffnet, welche heute die Wettbewerbsfähigkeit der deutschen Wirtschaft begründen und darüber hinaus unser tägliches Leben prägen.

Mikrosensoren haben sich aufgrund ihrer Leistungsfähigkeit bei kleinen Dimensionen und den vergleichsweise geringen Kosten zu einer unverzichtbaren Grundlage unserer modernen Industriegesellschaft entwickelt. Die Schlüsseltechnologie für die Entwicklung von Mikrosensoren ist die Mikrosystemtechnik (MST), genannt. Will man die Entwicklung, den Einfluss und die Randbedingungen der Mikrosensorik verstehen, muss man sich mit den Grundlagen der Mikrosystemtechnik auseinandersetzen.

Im Rahmen dieses zweitägigen Seminars werden Sie einen fundierten Einblick in Anwendungen, Märkte und grundlegende Fertigungstechniken der Mikrosystemtechnik erhalten. Sie lernen das Potential und die Beschränkungen der Mikrosystemtechnik einzuschätzen, wobei keine isolierten, theoretisch-abstrakten Grundlagen vermittelt werden, sondern das „Begreifen“ auch im wörtlichen Sinne unterstützt wird. Sie bekommen die Gelegenheit, Methoden und Basistechnologien der Mikrosystemtechnik selbst durchzuführen, um somit die erworbenen theoretischen Grundlagen mit eigenen „hands-on“-Erfahrungen zu vertiefen. Hierzu werden Sie im modernen Reinraum der FH Kaiserslautern im Rahmen kleiner Gruppen mit Fertigungsprozessen wie Lithografie, Dünnschichttechnik und Chipkontaktierung sowie modernen Messmethoden vertraut gemacht. Durch die eigenhändige praktische Tätigkeit und durch den intensiven Austausch mit den Praktikern im Labor wird oft unmittelbar klar, was in einer reinen Theorieveranstaltungen nur als abstraktes Bild vermittelt werden könnte.

Datum

22.–23.09.2010

Zeit

10:00–17:00

Ort

Campus Zweibrücken der FH Kaiserslautern

Zweibrücken

Wissenschaftliche Leitung

Prof. Dr. Antoni Picard

Standardpreis

1050.00 EUR

Preis für AMA-Mitglieder

950.00 EUR

Freie Plätze

nein

Anmeldeschluss

07.09.2010